事例動画：微粒子可視化
微粒子可視化
真空チャンバー内の可視化
真空チャンバーの中の可視化動画です。成膜プロセスでは、真空チャンバーの中を可視化することで、品質改善が期待できます。真空チャンバーの中で「浮遊する異物」と「無色透明のガス」のシュリーレン現象を観測した可視化動画をご紹介いたします。
【微粒子の可視化には】
レーザーシート光源とリアルタイム画像処理カメラで真空チャンバー内部を観測します。サブミクロン以上の微粒子・異物の飛散を可視化しています。
【ガスの可視化には】
シュリーレン法により無色透明であるガス挙動を可視化することができます。ビューポートへ平行な光を照射して、光がガスを透過するときの屈折率の変化からガスを観測します。真空チャンバー内の大気中とは異なる挙動のガスを、鮮明に可視化することができます。
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