ミスト発生器

クリーンルームの気流管理に最適

クリーンルーム用トレーサー発生装置「ミスト発生器」は、コンタミの影響の少ないミストを発生し、PIVや気流可視化のトレーサーに最適です。主な特長として、HEPAフィルターを通した清浄なミストの発生、多孔式ノズルによる気流への厚みの付与、レーザーシート光源と組み合わせての気流微細構造の把握が可能です。クリーンルーム環境下での気流管理を実現し、流体工学の観点から生産品質の向上を支援します。

クリーンルーム内の気流可視化イメージレーザーシート光源との組み合わせによる可視化

ミスト発生器を使用して、クリーンルーム内の気流を可視化した様子です。
清浄度の高いミストを発生させ、レーザーシート光源「PIV Laser G series」で可視化を行った事例です。

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ミスト発生の特長特長・機能

コンタミの影響が少ない
クリーンルームでは、気流用トレーサーとなるスモークでは汚染の原因となります。ミスト発生器は、清浄度の高いミストでコンタミを最小限に。

気流を3次元的に可視化
多孔式ノズルの採用で、気流に厚みを持たせ、複雑な流れも可視化が可能です。

レーザーシート光源との組み合わせ
発生させたミストにレーザーシートを照射すれば、PIVによる気流の定量化も可能です。

オプションでクラス10にも対応
オプションのULPAフィルターへ交換すれば、ISOクラスⅣ4（クラス10）の気流にも使用できます。

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製品概要仕様

集塵効率	0.3μm粒子で99.97％以上
集塵要素	HEPAフィルター
処理風量	可変 11 ～ 40 L / min
ミスト発生量	最大0.15 L / h
温度条件	18 ～ 28℃ ※屋内環境
電源	AC100V 1φ 50 / 60 Hz
消費電力	32W
重量	約5kg
本体構造	ステンレス製（SUS304）ヘアーライン仕上げ
外形寸法	W185 × D250 × H300[mm]
付属品	・導霧パイプ（1ｍ）・標準ノズル・延長パイプ（30cm）・ロート・多孔ノズル（30cm、φ4穴）・ポリタンク（1000mL）

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