微粒子可視化システム　ParticleViewer

微粒子可視化システム Particle Viewer PV2シリーズ

ISO14644－17対応
0.1マイクロの微粒子まで可視化。高い信頼性と飛躍的な可視化性能を実現しました。
従来の可視化技術を進化させた"微粒子可視化"の新たなスタンダードです。
※可視化できる最小粒径は、粒子の飛散速度や環境条件により変わりますので製品デモでご確認ください。

微粒子・クリーンルームの可視化

飛沫・エアロゾルの可視化とは

微粒子（異物）管理の重要性と可視化によるクリーンルームの改善

フルバージョンはYoutubeで公開中「FFUからの落下塵0.3μを可視化」

■クリーンルームでの微粒子問題

半導体、精密機器、電子部品、食品、薬品など各分野のクリーンルームでは、微粒子のゴミや異物の付着が歩留まりに直結します。
パーティクルカウンターを用いた測定方法が一般的ですが、一点計測では構造的な評価が難しく、微粒子の浮遊状況を広く把握することが困難です。
また、0.1μ前後の粒子径には高精度ですが、粒径が5μを超えると実際に存在している個数とカウンターの数値に整合性が取れなくなります。
可視化してみると、クラス1, 000と思っていた環境が実は10,000に等しいクラスのコンタミ状況であることが判明する事例も多くあります。

■微粒子可視化システム「Particle Viewer PV2 series」の利点

微粒子可視化システムでは非接触でエリア評価が可能なので、微粒子の発塵から浮遊、堆積、再飛散までの各プロセスを可視化できます。
作業環境にどのくらいの微粒子が存在するのか？異物はどこからやってくるのか？発塵源はどこにあるのか？
そしてどのような改善を行い管理すべきか？対策を立てることが可能になります。
これにより、清浄度改善の作業効率を飛躍的に高めることができます。

微粒子可視化システム「Particle Viewer PV2 series」の特長

微粒子可視化システム「Particle Viewer PV2 series」は、従来の可視化方法に加え独自のリアルタイム画像処理技術を開発し、超高感度の可視化検証が可能です。
さまざまな環境でのパーティクル測定に対応し、ユーザビリティと機能性を追求した製品です。

■"背景と同化せず"浮遊する粒子を確実に撮影

室内照明のスペクトル分布

赤色レーザーのスペクトル分布

背景が明るくても撮影可能

室内照明で使用される白色光は、460nm～580nmまで広範囲に分布しています。
「微粒子可視化システム Particle Viewer PV2 series」では可視化性能を向上させるため、室内照明の波長分布とは大きく異なる、
赤色レーザー光源を業界で初めて採用しました。
従来では視認性が良くなかった"照明が消せない環境"や"白い壁が背景"でも、粒子像が同化せず撮影できます。

■特長

オフライン計測で撮影した画像から粒子数をカウント
カウントした粒子を時系列グラフで表示。発塵のタイミングを見える化
浮遊しているパーティクルの定性的な気流評価も可能
構成の光学フィルター使用で、明るい環境や白い背景でも粒子像が同化しにくい
直観操作と簡素化されたレンズ調整
カスタマイズ可能な撮影モードと簡単なファイル管理
業界最小最軽量のUSB3.0インターフェース
手軽な設置と専用ケースで持ち運びも容易

「多彩な分野で活躍」主なアプリケーション

■クリーンルームで発塵・浮遊する微粒子
■感光材料、半導体の異物付着対策
■EV電池の異物混入対策
■蒸着・スパッタ装置内の浮遊粒子
■塗装ブースの歩留まり改善
■製薬成分の飛散や封じ込め検証
■フィルム製造の異物付着を検証
■液中パーティクルの可視化

計測機能：微粒子を画像からカウント▶時系列グラフと同期再生まで

粒子数カウントと時系列グラフ画面

CSVで数値データとして出力可能

オフラインの計測機能として、画像から粒子数のカウントができます。
カウントした粒子数を時系列のグラフで表示して、現象動画と同期再生が可能です。
発塵のタイミングを手軽に分析できます。

微粒子可視化システム「Particle Viewer PV2 series」ラインナップ

モデル	レーザー出力	波長	入力電圧
PV2-ⅢLD	3W（連続発振）	638nm	AC100V
PV2-ⅤLD	5W（連続発振）	638nm	AC100V

■システム構成

◇レーザーシート光源　◇照射角度可変ユニット　◇専用高感度カメラ　◇カメラレンズ　◇接写リング　◇光学フィルター　◇保護メガネ　 ◇三脚×２（光源用、カメラ用）　◇ノートPC　◇微粒子可視化用ソフトウェア「Particle Viewer」　◇収納ケース

※三脚・ノートPCは収納できません

微粒子可視化システム「Particle Viewer PV2 series」仕様

■レーザーシート光源/保護メガネ/光学フィルター

光源	赤色レーザーシート光源：3W出力（PV2-ⅢLD）/ 5W出力（PV2-ⅤLD）
波長/発振形態	638nm / CW（Continuous Wave:連続発振）
照射角度可変	レーザーシート照射角度可変ユニット：Angle Unit付属
保護メガネ	対応波長638nm（OD4： 1/10,000減衰）
光学フィルター	透過波長638nm（半値全幅10nm）

■専用高感度カメラ

有効画素数	310万画素
イメージセンサー	モノクロCMOS 1/1.8型
インターフェース	USB3.0
フレームレート（fps）	310万画素で撮影時に選択可能なfps：120, 60, 10, 5, 1 170万画素で撮影時に選択可能なfps：170, 80, 10, 5, 1 30万画素で撮影時に選択可能なfps：360, 180, 10, 5, 1

■レンズ/接写リング/三脚

カメラレンズ	6倍手動ズームレンズ
接写リング	7点セット（40, 20, 10, 5, 2, 1, 0.5mm）
三脚	耐荷重4kg（2本：レーザーシート光源用、専用高感度カメラ用）
ノートPC	カメラキャプチャ―、画像処理用：Windows OS 64bit
収納ケース	APA複合積層板構造、キャリーハンドル、キャスター付

■ソフトウェア（微粒子可視化専用）

画像処理（リアルタイム）	①スルーモード　②軌跡モード　③強調モード（リアルタイムで切替可能）・ROI設定　・撮影設定ファイル保存読出　・差分による背景処理・ノイズリダクションフィルター　・凸部抽出
画像処理（オフライン）	・リアルタイム処理の再現　・ROI設定　・Pseudo-color表示・累積輝度静止画表示機能　・差分による背景処理・ノイズリダクションフィルター　・凸部抽出
計測（オフライン）	・粒子数カウント（二値化、自動判定、グラフ表示）　・キャリブレーション機能・CSV出力　・移動量算出（簡易手動計測）