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微粒子可視化システム ParticleViewer

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微粒子可視化システム ParticleViewer
微粒子可視化システム ParticleViewer
ISO14644-17   新規格対応
クリーンルームや製造現場で浮遊・堆積するパーティクルを可視化することで歩留まり改善を図れます
レンタル カタログダウンロード 可視化事例集

可視化技術の見える化

目には見えないゴミでお困りではありませんか?

半導体、精密機器、電子部品、食品、薬品など各分野のクリーンルームではゴミなど異物の付着が歩留まりに直結します。測定方法としてパーティクルカウンターでの計測が一般的ですが、一点計測では構造的な評価が難しく、パーティクルの浮遊状況を広く把握することが困難です。また0.1μ前後の粒子径には高精度ですが、粒径が5μを超えてきますと実際に存在している個数とカウンターの数値に整合性が取れなくなります。可視化してみますとクラス1,000と思っていた環境が、実は10,000に等しいクラスのコンタミ状況だったということも多く事例があります。
微粒子可視化システムでは非接触でエリア評価が可能ですので、異物の発塵から浮遊、堆積、再飛散までの各プロセスを文字通り一目瞭然に可視化します。
作業環境に異物がどのくらいあるのか? 異物はどこからやってくるのか? 発塵源は? どのような改善を行い管理するべきか、容易に対策を立てることが可能になりますので、清浄度改善の作業効率そのものを飛躍的に高めることができます。

特長

  • 従来の可視化方法に加え独自のリアルタイム画像処理技術を開発、超高感度の可視化検証が可能。
  • パーティクルの可視化だけでは無く、浮遊しているパーティクルで定性的な気流評価も可能。
  • 現場運用を踏まえユーザビリティを追及、直感操作が可能になり、カメラレンズの調整も簡素化。
  • 環境に合わせ手軽に撮影モードをカスタムでき、保存と読み込みも専用ファイルにて簡単管理。
  • 微粒子の自動抽出機能を追加し、粒子数算出や時系列グラフ化も容易です。
  • インターフェースにUSB3.0を採用し、業界最小最軽量を実現。
  • 手軽に設置ができ、専用ケースで持ち運びも容易。海外への持ち出しを踏まえた運用ができます。
  • 安全基準によりレーザーの運用ができない環境用にLED光源での微粒子可視化を実現
  • 室内灯下や反射物が多い環境でも微粒子を検出しやすい光学フィルターや画像処理なども充実。多様な環境でのパーティクル測定が可能です。

仕様

モデル 光源タイプ 波長 入力電圧
PV2-Ⅱ   レンタル 緑色レーザー2W出力 532nm ※AC100-240V
PV2-Ⅳ   レンタル 緑色レーザー4W出力 532nm ※AC100-240V
PV2-VLDレンタル 赤色レーザー5W出力 638nm AC100V

                            PV2-XLD

赤色レーザー10W出力 638nm AC100V
PV2-L    レンタル 特殊LED光源 --- ※AC100-240V

※海外は不安定な電源環境が多く変圧器等の運用を推奨



目的に応じて選べる光源3種類

  • 製品イメージ

    PV2-Ⅱ(2W出力)
    PV2-Ⅳ(4W出力)
    *緑色レーザーシート光源
    目視確認にも最適な被視感度に優れた緑色レーザー
  • 製品イメージ

    PV2-VLD(5W出力)
    PV2-XLD(10W出力)
    *赤色レーザーシート光源
    均一なコントラストが得られる高安定赤色レーザー
  • 製品イメージ

    PV2-L
    *特殊LED光源
    堆積粒子や粗大粒子にLED光源
システム構成
レーザーシート光源モデル(PV2-Ⅱ、PV2-Ⅳ、PV2-VLD)
◇レーザー光源 ◇専用高感度カメラ ◇カメラレンズ ◇接写リング
◇微粒子可視化専用ソフトウェア ◇光源用固定三脚 ◇撮影用固定三脚 ◇撮影解析用専用端末
◇干渉フィルター ◇照射角度可変ユニット ◇保護メガネ ◇収納ケース
レーザー光源モデル収納イメージ
レーザー光源モデル収納イメージ
LED光源モデル(PV2-L)
◇特殊LED光源 ◇専用高感度カメラ ◇カメラレンズ ◇接写リング
◇微粒子可視化専用ソフトウェア ◇光源用固定三脚 ◇撮影用固定三脚 ◇撮影解析用専用端末
◇収納ケース

LED光源モデル収納イメージ
LED光源モデル収納イメージ

業界最小最軽量で持ち運びも容易。多様な現場間での可視化もより手軽に。

参考重量:PV2-L ケース込み11kg        


※持ち運びイメージ
撮影解析用専用端末は別途

レーザーキャリーケース外観
レーザー光源モデルはキャリーケース付きになり、
台車での運搬も必要なし。ケースごと楽に移動が可能です。

 


※生産現場の気流環境中の浮遊異物の可視化につきましては、1μ以上の粒径を可視化の目安としてご案内しております。

機能一覧

  • リアルタイム画像処理(背景除去、軌跡表示、微粒子像強調抽出)
  • 輝度累積表示による発塵元や多塵エリア特定機能
  • 粒子数カウント(二値化,自動判定,グラフ,CSV出力)
  • 輝度面積値出力(CSV出力))
  • 軌跡移動量算出
  • カメラ設定、画像処理内容の一括ファイル保存と読込
撮影した粒子像を二値化処理し粒子数の変化を手軽にグラフ化できます。
時系列の変化が分かりやすく、発塵のタイミングを見える化できます

主な用途

  • クリーンルームの発塵・浮遊の状態を可視化
  • 塗装ブースのブツによる歩留まり改善
  • 半導体や液晶分野における成膜装置内の異物対策
  • 製薬向け成分飛散の可視化や封じ込め検証
  • 搬送機・吸塵器・チャンバー内の異物問題
  • プリンターのトナーや花粉などの可視化
  • リチウムイオン電池の製造において金属粉が混入対策に
  • 光学フィルムの付着微粒子や周辺浮遊状況を可視化

可視化事例

装置内の微粒子浮遊状況を可視化
クリーンルームでは現場空間と生産装置内部の2種類の可視化を行うことが基本になります。局所空間では比較的清浄度が維持しやすいですが、装置の挙動で部品間でスレなどがあると発塵が問題になります。画像は1μ以下の微細粒子の飛散状況を可視化しております。
空気清浄機HEPAフィルター効果
画面に写っている空気清浄機は内部にHEPAフィルターを3枚搭載しており、そこを通過しクリーン化した気流が本体上部より排出されております。クリーンルーム環境以外でも家電製品の清浄度能力評価やアレルギー物質の飛散状況の可視化などで有用です。
エアコンからの微粒子飛散
家庭用のエアコンから微粒子が排出されている状況を可視化しました。クリーンルーム内も同様に、微粒子が製造工程ではなく空調設備から飛散し浮遊していることがあります。ダクト内のフィルターが機能しているか、交換時期を過ぎた場合にどうなるかなどの検証も行えます。
オフィスにおける呼気の挙動の可視化検証(COVID-19対策)
オフィスワーク時に飛沫感染のリスクを検証する撮影を行いました。ビル内では一括管理によるエアコン制御や窓が無いことにより、換気がこまめにできない環境も多いです。閉鎖空間における呼気の挙動を可視化し、感染リスクを視える化してみました。
レーザープリンターからのトナー飛散
レーザープリンターの排気口から吹き出すトナー粒子(5μ前後)の可視化をしております。超微細粒子は時間当たり100億個~1兆個程度を排出していると言われていますが、室内空気を汚染する浮遊粒子物質がどのように放出されているか分かります。
加熱式タバコの副流煙と呼出煙の可視化
紙巻きたばこと比較すると加熱式では有害性の高いといわれる副流煙はほとんど視認できず、また呼出煙についても濃度が比較的薄いことがわかります。微粒子可視化システムでは空間中に漂うミストや粉塵などのエアロゾル粒子の浮遊状態を評価できます。

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