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微粒子可視化システム ParticleViewer

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微粒子可視化システム ParticleViewer
微粒子可視化システム ParticleViewer
クリーンルームや製造現場で浮遊・堆積するパーティクルを可視化することで歩留まり改善を図れます
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可視化技術の見える化

目には見えないゴミでお困りではありませんか?

半導体、精密機器、電子部品、食品、薬品など各分野のクリーンルームでは清浄度の高さが歩留まり改善に直結します。評価方法としてパーティクルカウンターでの計測が一般的ですが、一点計測では構造的な評価が難しく、微粒子の浮遊状況を広く把握することが困難です。また0.1μ前後の粒子径には高精度ですが、粒径が5μを超えてきますと実際に存在している個数とカウンターの数値に整合性が取れなくなります。可視化してみますとクラス1,000と思っていた環境が、実は10,000に等しいコンタミ状況だったということも多く事例があります。
微粒子可視化システムでは非接触でエリア評価が可能ですので、発塵から浮遊、堆積、再飛散までの各プロセスを文字通り一目瞭然に可視化します。どのような改善をするべきか、容易に対策を立てることが可能になりますので、清浄度改善の作業効率そのものを飛躍的に高めることができます。

特長

仕様

モデル 光源タイプ CRクラス対応 重量(ケース込)
ParticleViewerⅡレンタル CWレーザー2W出力 クラス1000~ 17kg
ParticleViewerⅣレンタル CWレーザー4W出力 クラス100以下 18kg
ParticleViewerLightレンタル 特殊LED光源 クラス10000以上 11Kg
基本システム構成
光源・カメラ・撮影用光学系セット・三脚×2・撮影解析用端末・専用ソフト・収納ケースなど

機能一覧

撮影した粒子像を二値化処理し粒子数の変化を手軽にグラフ化できます。
時系列の変化が分かりやすく、発塵のタイミングを見える化できます

主な用途

  • クリーンルームの発塵・浮遊の状態を可視化
  • 塗装ブースのブツによる歩留まり改善
  • 半導体や液晶分野における成膜装置内の異物対策
  • 製薬向け成分飛散の可視化や封じ込め検証
  • 搬送機・吸塵器・チャンバー内の異物問題
  • プリンターのトナーや花粉などの可視化
  • リチウムイオン電池の製造において金属粉が混入対策に
  • 光学フィルムの付着微粒子や周辺浮遊状況を可視化

可視化事例

装置内の微粒子浮遊状況を可視化
クリーンルームでは現場空間と生産装置内部の2種類の可視化を行うことが基本になります。局所空間では比較的清浄度が維持しやすいですが、装置の挙動で部品間でスレなどがあると発塵が問題になります。画像は1μ以下の微細粒子の飛散状況を可視化しております。
空気清浄機HEPAフィルター効果
画面に写っている空気清浄機は内部にHEPAフィルターを3枚搭載しており、そこを通過しクリーン化した気流が本体上部より排出されております。クリーンルーム環境以外でも家電製品の清浄度能力評価やアレルギー物質の飛散状況の可視化などで有用です。
エアコンからの微粒子飛散
家庭用のエアコンから微粒子が排出されている状況を可視化しました。クリーンルーム内も同様に、微粒子が製造工程ではなく空調設備から飛散し浮遊していることがあります。ダクト内のフィルターが機能しているか、交換時期を過ぎた場合にどうなるかなどの検証も行えます。
厨房回りの油煙可視化
調理時に発生する油煙や水蒸気を可視化しております。空調や調理者の動作など外乱の影響も含めてフィルター評価やフード設計が適切か評価できます。電磁式器具とガス熱源式では必要となる換気量も異なるため実際に可視化して評価することが求められます。
レーザープリンターからのトナー飛散
レーザープリンターの排気口から吹き出すトナー粒子(5μ前後)の可視化をしております。超微細粒子は時間当たり100億個~1兆個程度を排出していると言われていますが、室内空気を汚染する浮遊粒子物質がどのように放出されているか分かります。
加熱式タバコの副流煙と呼出煙の可視化
紙巻きたばこと比較すると加熱式では有害性の高いといわれる副流煙はほとんど視認できず、また呼出煙についても濃度が比較的薄いことがわかります。微粒子可視化システムでは空間中に漂うミストや粉塵などのエアロゾル粒子の浮遊状態を評価できます。

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